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氬氣是直讀光譜儀分析的重要因素，直讀光譜儀對(duì)氬氣的純度要求也相當(dāng)高，一般要求控制99.999%以上純度的氬氣，這對(duì)直讀光譜儀檢測(cè)的正常使用和檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性至關(guān)重要。

(1)普通氬氣純度一般不會(huì)高于五個(gè)9,氬氣的的主要功能是對(duì)鎢電極保護(hù)作用,一般直讀光譜儀激發(fā)時(shí)由于瞬間電壓高、電流大,激發(fā)溫度都很高,如果氬氣純度不夠，對(duì)鎢電極就會(huì)損傷，而且一些高溶點(diǎn)的物質(zhì)如硅等就激發(fā)不充分，在金屬表面就會(huì)有很多白點(diǎn)，造成檢測(cè)數(shù)據(jù)不不準(zhǔn)。

(2)低于99.999%的普氬還是不要用，幾個(gè)月后就會(huì)激發(fā)不了樣塊，當(dāng)然，如果有氬氣凈化機(jī)，還是能純化到高高純氬氣，不過(guò)普氬里雜質(zhì)較多，需要經(jīng)常再生。如果直接使用普氬，對(duì)光路尤其是透鏡的損壞較大，強(qiáng)烈推薦不用普氬。

(3)氬氣不純，影響光譜儀的透鏡，導(dǎo)致透鏡污染，影響直讀光譜儀分析譜線;再者激發(fā)時(shí)聲音表現(xiàn)無(wú)力，激發(fā)發(fā)點(diǎn)不充分燃燒，直接影響分析數(shù)據(jù)，所得數(shù)據(jù)偏離實(shí)際值，不準(zhǔn)確。

(4) 高純氬氣作為火花室保護(hù)氣的主體，其純度高才會(huì)形成需要的“聚能放電”否則就是所謂的“擴(kuò)散放電”引引起不良的激發(fā)。樣品的組織結(jié)構(gòu)越復(fù)雜，對(duì)氬氣的純度要求就越嚴(yán)格。

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