吳經(jīng)理 15190055540陳經(jīng)理15190055548
吳經(jīng)理13396139111
吳經(jīng)理 15190055540
?關(guān)于氬氣/氦氣純化的方法:
■第一種
直接脫氧法。就是使用活性金屬、催化劑與氬氣/氦氣中的氧氣進行反應(yīng)，消化掉氬氣/氦氣中的氧氣，從而達到脫氧的目的，經(jīng)過分子篩吸收掉氬氣/氦氣中的水份和二氧化碳，使氬氣/氦氣的含水量小于1 ppm；
■第二種
是采用吸氣劑。在一定溫度下，吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經(jīng)吸收處理后，凈化后純度可達到6N\7N\8N\9N，這種工藝生產(chǎn)出來的高純氣體適用于各類儀器儀表適用要求。
?技術(shù)參數(shù):
■ 處理氣量：5~2000Nm3/h(可根據(jù)用戶需要訂做非標(biāo)設(shè)備)
■ 原料氣要求：液氬/液氦或者較好的管道氬/氦均可使用
■ 工作壓力0.2-1.6MPa可調(diào)
介質(zhì) | 原料氣 | 純化后 | 純化后雜質(zhì) | 備注 |
Ar/He | ≥99.99% | 6N | O2、H2O、CO2、CO、CH4、N2 、H2≤1ppm;顆?！?.1μm | |
Ar/He | ≥99.999% | 7N | O2、H2O、CO2、CO、CH4、N2 、H2≤100ppb;顆?！?.003μm | |
Ar/He | ≥99.9999% | 8N | O2、H2O、CO2、CO、CH4、N2 、H2 ≤10ppb; 顆?！?.003μm | |
Ar/He | ≥99.99% | 6N | O2、H2O、CO2 ≤1ppm; 顆粒≤0.1μm | 不除氮和甲烷 |
Ar/He | ≥99.999% | 7N | O2、H2O、CO2 ≤100ppb;顆粒≤0.003μm | 不除氮和甲烷 |
Ar/He | ≥99.9999% | 8N | O2、H2O、CO2 ≤10ppb; 顆?！?.003μm | 不除氮和甲烷 |
?用途:
用于高純氣體充裝站、焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣、填充氣體、真空檢漏、氣相色譜分析的載氣。
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鄂公網(wǎng)安備 42120202000386號
